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中國電子束曝光系統(tǒng)產(chǎn)量 電子束曝光系統(tǒng)發(fā)展前景分析

  • 2022年5月12日 ZhouXun來源:互聯(lián)網(wǎng) 514 27
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近年來,中國電子束曝光系統(tǒng)的產(chǎn)量和產(chǎn)值都呈現(xiàn)出較快的增長態(tài)勢。據(jù)統(tǒng)計(jì),2021年,中國電子束曝光系統(tǒng)的產(chǎn)量約為864臺,同比增長12.06%;產(chǎn)值約為6.82億美元,同比增長18.40%。

電子束曝光是用低功率密度的電子束照射電致抗蝕劑,經(jīng)顯影后在抗蝕劑中產(chǎn)生圖形的一種微細(xì)加工技術(shù)。

光刻技術(shù)的精度受到光子在波長尺度上的散射影響。使用的光波長越短,光刻能夠達(dá)到的精度越高。根據(jù)德布羅意的物質(zhì)波理論,電子是一種波長極短的波。這樣,電子束曝光的精度可以達(dá)到納米量級,從而為制作納米線提供了很有用的工具。電子束曝光需要的時(shí)間長是它的一個(gè)主要缺點(diǎn)。為了解決這個(gè)問題,納米壓印術(shù)應(yīng)運(yùn)而生。

根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2022年全球與中國電子束曝光系統(tǒng)(EBL)市場深度研究報(bào)告》顯示:

中國電子束曝光系統(tǒng)產(chǎn)量

隨著器件的特征尺寸不斷縮小,在掩模版制造中普遍采用電子束曝光和激光光刻設(shè)備,在這兩類設(shè)備中,電子束設(shè)備在性能和數(shù)量上均占優(yōu)勢。最先進(jìn)的激光制版系統(tǒng),其束斑直徑在0.2μm左右,可以用來制作0.18μm,0.15μm生產(chǎn)線的掩模版,但對特征尺寸更小的器件的掩模,只能用電子束曝光系統(tǒng)來制作,特別是用于光學(xué)光刻中的銘版制造。

據(jù)不完全統(tǒng)計(jì),截至2021年底,全球電子束曝光系統(tǒng)產(chǎn)能約為3564臺,產(chǎn)量約為3411臺,產(chǎn)能利用率約為95.71%。

近年來,中國電子束曝光系統(tǒng)的產(chǎn)量和產(chǎn)值都呈現(xiàn)出較快的增長態(tài)勢。據(jù)統(tǒng)計(jì),2021年,中國電子束曝光系統(tǒng)的產(chǎn)量約為864臺,同比增長12.06%;產(chǎn)值約為6.82億美元,同比增長18.40%。

2021年美國電子束曝光系統(tǒng)的產(chǎn)量約為268臺,較2020年增長了5.10%;產(chǎn)值約為2.29億美元,較2020年增長了6.02%。

據(jù)統(tǒng)計(jì),2021年歐洲電子束曝光系統(tǒng)的產(chǎn)量約為1364臺,較2020年增長了6.98%;產(chǎn)值約為14.14億美元,較2020年增長了12.67%。

中國電子束曝光系統(tǒng)發(fā)展前景分析

隨著器件的特征尺寸不斷縮小,在掩模版制造中普遍采用電子束曝光和激光光刻設(shè)備,在這兩類設(shè)備中,電子束設(shè)備在性能和數(shù)量上均占優(yōu)勢。最先進(jìn)的激光制版系統(tǒng),其束斑直徑在0.2μm左右,可以用來制作0.18μm,0.15μm生產(chǎn)線的掩模版,但對特征尺寸更小的器件的掩模,只能用電子束曝光系統(tǒng)來制作,特別是用于光學(xué)光刻中的銘版制造。

這種曝光方式分辨率高、掩膜版制作容易、工藝容限大,而且生產(chǎn)效率高,但由于電子束在光刻膠膜內(nèi)的散射,使得圖案的曝光劑量會受到臨近圖案曝光劑量的影響(即臨近效應(yīng)),造成的結(jié)果是,顯影后,線寬有所變化或圖形畸變。雖然如此,限角度投影式電子束光刻仍是最具前景的非光學(xué)光刻。

中研普華利用多種獨(dú)創(chuàng)的信息處理技術(shù),對電子束曝光系統(tǒng)(EBL)行業(yè)市場海量的數(shù)據(jù)進(jìn)行采集、整理、加工、分析、傳遞,為客戶提供一攬子信息解決方案和咨詢服務(wù),最大限度地降低客戶投資風(fēng)險(xiǎn)與經(jīng)營成本,把握投資機(jī)遇,提高企業(yè)競爭力。

了解更多行業(yè)詳情,可以點(diǎn)擊查閱中研普華產(chǎn)業(yè)研究院的《2022年全球與中國電子束曝光系統(tǒng)(EBL)市場深度研究報(bào)告》。

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