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光刻機(jī)市場規(guī)模分析及行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀分析2023

  • 黃文玉 2023年9月11日 來源:互聯(lián)網(wǎng) WSTS 中國半導(dǎo)體工業(yè)協(xié)會 797 48
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光刻機(jī)按照有無掩模,可細(xì)分為有掩模光刻機(jī)和無掩模光刻機(jī)。無掩模光刻機(jī)分為電子束/激光/離子束直寫光刻機(jī),有掩模光刻機(jī)分為接近/接觸/投影光刻機(jī)。

光刻機(jī)又名掩模對準(zhǔn)曝光機(jī),曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù),把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。光刻機(jī)按照有無掩模,可細(xì)分為有掩模光刻機(jī)和無掩模光刻機(jī)。無掩模光刻機(jī)分為電子束/激光/離子束直寫光刻機(jī),有掩模光刻機(jī)分為接近/接觸/投影光刻機(jī)。

生產(chǎn)集成電路的簡要步驟:利用模版去除晶圓表面的保護(hù)膜,將晶圓浸泡在腐化劑中,失去保護(hù)膜的部分被腐蝕掉后形成電路。用純水洗凈殘留在晶圓表面的雜質(zhì),其中曝光機(jī)就是利用紫外線通過模版去除晶圓表面的保護(hù)膜的設(shè)備。一片晶圓可以制作數(shù)十個集成電路,根據(jù)模版曝光機(jī)分為兩種:模版和晶圓大小一樣,模版不動。模版和集成電路大小一樣,模版隨曝光機(jī)聚焦部分移動。其中模版隨曝光機(jī)移動的方式,模版相對曝光機(jī)中心位置不變,始終利用聚焦鏡頭中心部分能得到更高的精度,成為的主流。

高端的投影式光刻機(jī)可分為步進(jìn)投影和掃描投影光刻機(jī)兩種,分辨率通常七納米至幾微米之間,高端光刻機(jī)號稱世界上最精密的儀器,世界上已有1.2億美金一臺的光刻機(jī)。高端光刻機(jī)堪稱現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花,其制造難度之大,全世界只有少數(shù)幾家公司能夠制造。國外品牌主要以荷蘭ASML(鏡頭來自德國),日本Nikon(intel曾經(jīng)購買過Nikon的高端光刻機(jī))和日本Canon三大品牌為主。位于我國上海的上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司(SMEE)已研制出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的投影式中端光刻機(jī),形成產(chǎn)品系列初步實現(xiàn)海內(nèi)外銷售。正在進(jìn)行其他各系列產(chǎn)品的研發(fā)制作工作。生產(chǎn)線和研發(fā)用的低端光刻機(jī)為接近、接觸式光刻機(jī),分辨率通常在數(shù)微米以上。主要有德國SUSS、美國MYCRO NXQ4006、以及中國品牌。

光刻機(jī)行業(yè)現(xiàn)狀及市場競爭格局分析

就目前國內(nèi)主要半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率情況而言,刻蝕設(shè)備、薄膜設(shè)備、清洗設(shè)備技術(shù)要求較低,國產(chǎn)突破較早,目前國產(chǎn)化率都在10%以上,但光刻機(jī)、涂膠顯影、離子注入、探針臺等仍是尚未完全量產(chǎn)的產(chǎn)品,目前技術(shù)水平仍停留在研發(fā)及提升技術(shù)方面,這些設(shè)備不僅價值量占比高,且對工藝品質(zhì)影響較大,是實現(xiàn)國產(chǎn)替代的戰(zhàn)術(shù)重心,其中光刻機(jī)更是重中之重。

光刻機(jī)下游主要半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),整體需求受半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)景氣度影響較大,隨著全球和中國半導(dǎo)體市場規(guī)模穩(wěn)步擴(kuò)張,光刻膠需求保持穩(wěn)步增長。數(shù)據(jù)顯示,2021年全球半導(dǎo)體市場規(guī)模達(dá)5559,同比2020年增長26.2%。中國集成電路銷售額超萬億元,達(dá)10458.3億元,同比2020年增長18.2%。隨著半導(dǎo)體市場規(guī)模不斷擴(kuò)大,半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模也將持續(xù)擴(kuò)容。盡管2022年全球經(jīng)濟(jì)下滑明顯,下游需求受到顯著影響,半導(dǎo)體設(shè)備市場仍在增長,達(dá)到1076.4億美元的規(guī)模。

根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2023-2028年光刻機(jī)市場發(fā)展現(xiàn)狀調(diào)查及供需格局分析預(yù)測報告》顯示:

2017年至2022年期間,全球光刻機(jī)銷量穩(wěn)定提升。根據(jù)數(shù)據(jù),2020年以來光刻機(jī)的銷售額與銷量穩(wěn)定增長,2022年光刻機(jī)全球銷量已達(dá)到510臺。數(shù)據(jù)顯示,隨著半導(dǎo)體和信息通訊等產(chǎn)業(yè)穩(wěn)步擴(kuò)張,全球光刻機(jī)銷量呈現(xiàn)穩(wěn)步增長態(tài)勢,2021年top3企業(yè)銷量達(dá)478臺,同比2020年增長65臺。整體來看,集成電路、面板和LED光刻機(jī)整體出貨約650臺,其中集成電路約500臺左右。就整體規(guī)模變動而言,2021年前三大阿斯麥、尼康、佳能分別總營收達(dá)1076億元,同比2020年增長8.9%,其中阿斯麥占比超8成。

2022年全球光刻機(jī)銷量仍以中低端產(chǎn)品(KrF、i-Line)為主,ASML、Nikon和Canon的KrF、i-Line產(chǎn)品銷量合計達(dá)394臺,占比約71.5%;其次分別為ArFimmersio、Arfdry、EUV,占比分別為15.4%、5.8%及7.3%。其中,EUV是全球光刻機(jī)的重要發(fā)展方向之一,其價格遠(yuǎn)高于其他種類的光刻機(jī)。光刻機(jī)行業(yè)屬于明顯的寡頭壟斷格局,前三供應(yīng)商(荷蘭阿斯麥、日本佳能、日本尼康)占據(jù)絕大多數(shù)市場份額。從營收來看,尼康占比84%,佳能占比9%,阿斯麥占比7%。2022年光刻機(jī)市占率按出貨量來看 ,阿斯麥占比63%排名第一,佳能占比32%排名第二,尼康占比5%排名第三。

就細(xì)分產(chǎn)品類型而言,EUV作為唯一能夠制備7nm及以下工藝的光刻機(jī),采用EUV光源,使用的光波波長只有13.5nm, NA (數(shù)值孔徑)為0.33, 目前全球只有ASML能生產(chǎn)EUV光刻機(jī)。 隨著高端芯片持續(xù)上升,EUV銷量穩(wěn)步擴(kuò)張,是光刻機(jī)市場規(guī)模增長的主要動力。光刻機(jī)市場前三大供應(yīng)商占據(jù)了絕大多數(shù)市場份額,2018-2022年,三大供應(yīng)商的光刻機(jī)營收合計由123億美元增長至198億美元,對應(yīng)CAGR為13%。據(jù)預(yù)計2023年全球的光刻機(jī)市場規(guī)模將達(dá)到252億美元,有大幅上升。

半導(dǎo)體是光刻機(jī)的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一,中國政府出臺一系列政策支持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),包括資金支持、稅收優(yōu)惠等,刺激了國內(nèi)半導(dǎo)體制造業(yè)的發(fā)展,進(jìn)而推動了光刻機(jī)市場規(guī)模的上漲。2022年中國光刻機(jī)行業(yè)市場規(guī)模約為147.82億元。從區(qū)域分布來看,中國光刻機(jī)行業(yè)華東地區(qū)占比最重,占比為51.8%。

根據(jù)數(shù)據(jù)顯示,2022年中國光刻機(jī)產(chǎn)量約為95臺,需求量約為652臺。光刻機(jī)的研發(fā)、制造和維護(hù)成本較高,特別是高性能光刻機(jī)。然而,在市場競爭加劇的情況下,制造商為了降低成本和提高競爭力,不得不考慮降低價格。這導(dǎo)致了市場均價的下降。2022年中國光刻機(jī)均價約為2267.2萬元/臺。

ASML預(yù)計2023年全年交付DUV光刻機(jī)約375套、EUV光刻機(jī)約60套,其中EUV光刻機(jī)業(yè)務(wù)預(yù)計增長40%,非EUV業(yè)務(wù)增長30%,而在DUV光刻機(jī)中,大約25%是浸沒式設(shè)備。此外,據(jù)ITBEAR科技資訊了解,有說法稱,ASML光刻機(jī)2023年的供應(yīng)缺口高達(dá)30%,2024年會擴(kuò)大到50%,而且交付周期超過18個月,也就是現(xiàn)在下單至少一年半之后才能拿到貨。

中研普華利用多種獨創(chuàng)的信息處理技術(shù),對市場海量的數(shù)據(jù)進(jìn)行采集、整理、加工、分析、傳遞,為客戶提供一攬子信息解決方案和咨詢服務(wù),最大限度地降低客戶投資風(fēng)險與經(jīng)營成本,把握投資機(jī)遇,提高企業(yè)競爭力。想要了解更多最新的專業(yè)分析請點擊中研普華產(chǎn)業(yè)研究院的《2023-2028年光刻機(jī)市場發(fā)展現(xiàn)狀調(diào)查及供需格局分析預(yù)測報告》。

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